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HE-VL-600氣密性檢測(cè)儀

發(fā)布日期:2024-07-18      點(diǎn)擊:141

真空檢漏箱是一種用于檢測(cè)產(chǎn)品或設(shè)備在真空狀態(tài)下的泄漏情況的專(zhuān)用設(shè)備。在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中,特別是在半導(dǎo)體、光電、航空航天、精密儀器等領(lǐng)域,對(duì)于產(chǎn)品密封性能的要求非常高,任何微小的泄漏都可能導(dǎo)致產(chǎn)品性能下降甚至失效。因此,真空檢漏箱的應(yīng)用顯得尤為重要。

一、真空檢漏箱的工作原理

真空檢漏箱的工作原理基于氣體分子在真空狀態(tài)下的擴(kuò)散和滲透特性。當(dāng)被檢測(cè)的產(chǎn)品或設(shè)備被放入真空檢漏箱內(nèi)后,檢漏箱首先會(huì)通過(guò)抽氣系統(tǒng)將被測(cè)空間內(nèi)的氣體抽出,形成一個(gè)接近真空的環(huán)境。然后,檢漏箱會(huì)向被測(cè)空間內(nèi)注入一定量的示蹤氣體(通常是氦氣),示蹤氣體會(huì)通過(guò)被測(cè)產(chǎn)品或設(shè)備的泄漏點(diǎn)進(jìn)入真空環(huán)境。接著,檢漏箱會(huì)使用高精度的檢測(cè)儀器檢測(cè)示蹤氣體的濃度和分布情況,從而確定泄漏點(diǎn)的位置和泄漏量的大小。

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二、真空檢漏箱的主要組成部分

真空檢漏箱主要由以下幾個(gè)部分組成:

1. 真空腔體:真空腔體是真空檢漏箱的主體部分,用于容納被檢測(cè)的產(chǎn)品或設(shè)備。真空腔體通常采用不銹鋼等耐腐蝕、高強(qiáng)度的材料制成,以確保在抽真空和注入示蹤氣體過(guò)程中不會(huì)發(fā)生變形或泄漏。
2. 抽氣系統(tǒng):抽氣系統(tǒng)包括真空泵、真空計(jì)和管道等部分,用于將被測(cè)空間內(nèi)的氣體抽出,形成真空環(huán)境。真空泵的選擇要根據(jù)被測(cè)空間的體積和泄漏檢測(cè)的要求來(lái)確定,以確保在合理的時(shí)間內(nèi)達(dá)到所需的真空度。
3. 示蹤氣體注入系統(tǒng):示蹤氣體注入系統(tǒng)用于向被測(cè)空間內(nèi)注入一定量的示蹤氣體。注入的示蹤氣體量要根據(jù)被測(cè)產(chǎn)品或設(shè)備的泄漏檢測(cè)要求來(lái)確定,以確保能夠準(zhǔn)確地檢測(cè)出泄漏點(diǎn)。
4. 檢測(cè)儀器:檢測(cè)儀器是真空檢漏箱的核心部分,用于檢測(cè)示蹤氣體的濃度和分布情況。檢測(cè)儀器通常采用質(zhì)譜儀、氦質(zhì)譜檢漏儀等高精度儀器,能夠準(zhǔn)確地檢測(cè)出泄漏點(diǎn)的位置和泄漏量的大小。
5. 控制系統(tǒng):控制系統(tǒng)用于控制真空檢漏箱的各個(gè)部分的工作狀態(tài),確保整個(gè)檢測(cè)過(guò)程的準(zhǔn)確性和可靠性。控制系統(tǒng)通常包括電氣控制柜、觸摸屏等部分,方便用戶(hù)進(jìn)行操作和監(jiān)控。

三、真空檢漏箱的應(yīng)用領(lǐng)域

真空檢漏箱廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:

1. 半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,需要對(duì)芯片、封裝等部件進(jìn)行嚴(yán)格的密封性能檢測(cè),以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。真空檢漏箱是半導(dǎo)體制造過(guò)程中的設(shè)備之一。
2. 光電產(chǎn)業(yè):光電產(chǎn)品對(duì)密封性能的要求也非常高,如LED、LCD等產(chǎn)品的制造過(guò)程中都需要使用真空檢漏箱進(jìn)行泄漏檢測(cè)。
3. 航空航天:因?yàn)槿魏挝⑿〉男孤┒伎赡軐?dǎo)致嚴(yán)重的后果。真空檢漏箱在航空航天領(lǐng)域的應(yīng)用非常廣泛,如飛機(jī)、火箭等產(chǎn)品的泄漏檢測(cè)。
4. 精密儀器:精密儀器對(duì)密封性能的要求也非常高,因?yàn)樾孤?huì)影響儀器的精度和穩(wěn)定性。真空檢漏箱是精密儀器制造過(guò)程中的設(shè)備之一。

四、真空檢漏箱的技術(shù)參數(shù)

規(guī)格型號(hào): HE-VL-500 HE-VL-600 HE-VL-800 HE-VL-1000

內(nèi)箱尺寸(mm) 500×500×500、 600×600×600、 800×800×800 1000×1000×1000

水槽尺寸(mm): 400×400×400、 500×500×500、 700×700×700、 900×900×900

外形尺寸(mm): 680×670×1410 800×760×1530 1020×970×1720 1260×1560×1750

真空泵: 2XZ-4 XD-40

總功率: 1.5KW 3.0KW

使用電源: AC 單相 三線(xiàn) 220V 50HZ AC 三相 五線(xiàn) 380V 50HZ

真空度范圍: 0-100KPa

控制方式: 按鍵式控制或PLC觸摸屏控制

結(jié)構(gòu): 一體式結(jié)構(gòu)(內(nèi)置真空泵)或分體式(外置真空泵)

內(nèi)箱材質(zhì): SUS304#不銹鋼

外箱材質(zhì): SECC鋼板高級(jí)烤漆處理


真空檢漏箱是一種重要的工業(yè)檢測(cè)設(shè)備,在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中發(fā)揮著不可替代的作用。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和應(yīng)用領(lǐng)域的不斷拓展,真空檢漏箱的發(fā)展前景將更加廣闊。